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日本ULVAC DIS-90渦旋干式真空泵技術(shù)參數(shù)

發(fā)布時間： 2015-12-29　　點擊次數(shù)： 1584次

日本ULVAC DIS-90渦旋干式真空泵 一、特性

 

• 雙繞式渦旋泵，含1 根軌道螺旋和2 根固定螺旋。

• 可在大氣壓下實現(xiàn)操作運行。

• 可實現(xiàn)高極限真空。

• 低振動低噪音。

• 維護周期可通過計時表控制。

 

日本ULVAC DIS-90渦旋干式真空泵 二、應(yīng)用

 

• 分析設(shè)備

• 氣體回收系統(tǒng)

• 涂料設(shè)備• TMP 前級泵

• 氦滲漏探測器

• 半導(dǎo)體制造工藝

 

日本ULVAC DIS-90渦旋干式真空泵 三、規(guī)格參數(shù)

 

 

單位

50Hz

60Hz

實際抽速

L/min

90

108

極限壓力

Pa

5.0

馬達

 

單相, 100/115/200/230V, 
150W, 4P, 電容啟動運行

滿載電流

A

2.6/1.3/1.6
(100/200/230V)

2.1/2.2/1.1/1.1 
(100/115/200/230V)

重量

kg

14.0

進出氣管道直徑

 

進氣管 KF-25　出氣管 KF-16

環(huán)境溫度

°C

5 – 40

水蒸氣處理

g/天

≤5 (A.F. 開啟)

尺寸

mm

214(W) × 308(L) × 225(H)

 

四、外形圖

 

 

五、泵數(shù)曲線

 

六、對應(yīng)電壓與認證

 

電壓

現(xiàn)行電壓

CE 認證

CSA 認證

單相, 
100V / 115V (60Hz)/ 200-230V

標(biāo)準

 

 

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